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涂胶显影机设备的产能设计

　　涂胶显影设备的产能设计是一个重要部分,通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺通报周期时间参数等焦点参数的设计,有效地配置工艺处理？榈氖考拔恢谩⒐ひ胀ūňг驳乃俣燃奥废,搭建出目标机台内的工艺？樽槌杉芄,确定出目标机台内的各个机械人技术参数,满足与光刻机联线生产的量产涂胶显影机对产能的技术需求。